Avantages

• Dédié HF, KOH, BHF, HNO3
• Récupération chimique intégrée
• Agitation mécanique
• Fonctionnement de l'IHM et gestion des recettes

Sécurisé

• Conforme standard CE, ATEX, SEMI S2
• Mesure d’extraction avec interlock
• Opérateur protégé par écran coulissant transparent
• Détection de fuite avec interlock

Substrats

• Si, SiC, GaN GaAs, Saphire, Quartz
• Jusqu'à 12" ou forme carrée

Coûts optimisés

• Budget < 60 k€ pour la configuration de basique
• Faible CoC à consumation chimique réduite
• Encombrement réduit

Gestion chimique

• CDS accessible par le côté ou arrière
• Remplissage et purge automatique
• Filtration et recirculation intégrées
• Mesure de concentration en ligne

Automate avec écran tactile

• Séquence automatique de recette
• Température ajustable
• Temps de process ajustable
• Pression et débit ajustable
• Capteur de niveau