Modulable

• Peut être équipé avec plusieurs bacs
• Dimensions standards 1200 x 800 x 600 mm
• Autres dimensions disponibles
• Structure en PP
• Placard de rangement en partie inférieure
• Plan de travail en PP ou Inox

Bacs

• Matériaux disponibles : PP, PFA, Inox
• Formes et volumes disponibles : Substrats 1 à 12" et 1 à 25 Wafers, d'après cahier des charges
• Fonctionnalités disponibles :
• Statique ou recirculé
• Débordement
• Filtration
• Ultrason
• Thermostaté
• Vidange gravitaire ou par pompe
• Échangeur thermique intégré
• Capotage manuel ou automatique

Options

• Douchette EDI/ Soufflette N2
• Rangement
• Pupitre de commande ou automatique

Sécurisé

• Conforme directives machines 2016/42/CE
• Extraction réglable des vapeurs au dessus et dessous du plan de travail
• Plenum de rétention avec évacuation des liquides, capteur de débordement

Procédés

• Aqueux
• Acide
• Solvant
• Base