Avantages

• Dédié HF & DHF
• Ratio de 1:100 à 1:500
• Peut alimenter plusieurs équipements
• Répétabilité 2%
• Sensibilité 50 ppm

Sécurisé

• Conforme standard CE, ATEX, SEMI S2
• Mesure d’extraction avec interlock
• Ouverture protégées par interlock
• Détection de fuite avec interlock

Capteurs

• Concentration
• Débit
• Pression
• Température

Résultats optimisés

• Fonction de mélange pour garantir un mélange homogène
• Large gamme de pression de 0,5 à 3 bar
• Large gamme de débit de 0,5 à 20 lpm

Gestion chimique

• CDS accessible par le côté ou arrière, réservoir tampon
• Remplissage et purge automatique
• Filtration et recirculation intégrées

Automate avec écran tactile

• Contrôle température
• Ration de mélange ajustable
• Pression et débit ajustable
• Stockage des recettes et paramètres process