Avantages

• Dédié au DMSO, NF52 ou à tout dissolvant
• Compatible avec tout solvant, Acétone, IPA...
• Récupération chimique intégrée
• Réservoir unique pour tout les produits chimiques
• Opération IHM et gestion des recettes

Sécurisé

• Conforme à toutes les normes CE, SEMI S2
• Interrupteur SEMI S2 EPO, capteur de niveau
• Moniteur d'extraction avec alarme audio verrouillée
• Capteur de liquide plenum verrouillé

Substrats

• Si, SiC, GaN, GaAs, Saphire, Quartz
• 1 à 12" formes circulaires ou rectangulaires

Coûts optimisés

• Budget < 70 k€ pour la configuration de base
• Consommation chimique réduite
• Petite empreinte dans la salle blanche

Gestion chimique

• CDS accessible par le côté ou arrière, réservoir tampon
• Dépot et purge automatique
• Minuterie de bain
• Réglage du débit et de la pression chimique

Automate

• Séquence automatique de recette
• Réglage de la température du bain
• Minuterie de bain
• Réglage du débit et de la pression chimique